[发明专利]一种硼氮共掺杂二氧化钛薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201310016009.7 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103074588A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王鹤峰;李秀燕;范爱兰;马永;毕精会;唐宾 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/38 | 分类号： | C23C14/38;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 030024 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硼氮共掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，包括以下步骤：1）在双层辉光离子渗金属炉中，将固态化合物二硼化钛固定在源极上，金属工件放置在阴极上，阳极接在炉壳上并接地；2）然后将所述双层辉光离子渗金属炉内部抽至极限真空，炉内充入氩气，然后接通阴极电源，在阳极与阴极间施加直流电压，并使金属工件进行第一次升温，升温后对金属工件表面进行轰击；控制调节通入氩气、氮气和氧气的混合气体，然后再调节阴极电压，同时接通源极电源，在源极与阳极间施加直流电压，使金属工件进行第二次升温，并在保温的条件下进行等离子渗镀钛硼，保温后再冷却到室温，即可。本发明工艺简单，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硼氮共 掺杂 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硼氮共掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）在双层辉光离子渗金属炉中，将固态化合物二硼化钛固定在源极上，金属工件放置在阴极上，阳极接在炉壳上并接地；2）然后将所述双层辉光离子渗金属炉内部抽至极限真空，炉内充入氩气，使气压维持在15～18Pa之间，加阴极电压至500V～600V，使金属工件进行第一次升温，升温后对金属工件表面进行离子轰击；控制调节通入流量比为1:2:1的氩气、氮气和氧气的混合气体，使气压维持在35～45Pa之间，然后再调节阴极电压，同时接通源极电源，在源极与阳极间施加直流电压，在源极电压为‑900～‑1100V的条件下，使金属工件进行第二次升温，并在保温的条件下进行等离子渗镀钛硼，保温后再冷却到室温，即得到所述硼氮共掺杂二氧化钛薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太原理工大学，未经太原理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310016009.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种麻醉呼吸机的气路结构
- 下一篇：注空气及蒸汽自动选配注管柱
- 同类专利
- 专利分类
