[发明专利]具有防破损功能的基板处理系统在审
| 申请号： | 201280073999.1 | 申请日： | 2012-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN104380485A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 朴翔显;李东泫;吴贤弼;全光辰;权真焕;朴成镇 | 申请（专利权）人： | SNU精度株式会社 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有防破损功能的基板处理系统，本发明的具有防破损功能的基板处理系统包含：流体罐，可储存流体；腔室，提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间；管道，将所述流体罐与所述腔室彼此连接，从而使所述流体能够流动；和防破损部，应对所述管道随着所述流体的流动接收热量而产生的热膨胀，能够改变所述流体罐的位置。由此提供一种应对管道的热膨胀引起的体积变化，能够防止流体罐的破损的具有防破损功能的基板处理系统。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 破损 功能 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种具有防破损功能的基板处理系统，其特征在于，包含：流体罐，可储存流体；腔室，提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间；管道，将所述流体罐与所述腔室彼此连接，从而使所述流体能够流动；和防破损部，应对所述管道随着所述流体的流动接收热量而产生的热膨胀，能够改变所述流体罐的位置。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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