[发明专利]具有防破损功能的基板处理系统

权利要求书

1.一种具有防破损功能的基板处理系统，其特征在于，包含：

流体罐，可储存流体；

腔室，提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间；

管道，将所述流体罐与所述腔室彼此连接，从而使所述流体能够流动；和

防破损部，应对所述管道随着所述流体的流动接收热量而产生的热膨胀，能够改变所述流体罐的位置。

2.根据权利要求1所述的具有防破损功能的基板处理系统，其特征在于，

所述防破损部包含：

腿部，一端与流体罐连接，另一端支撑罐的负载；和

支撑部件，下端固定在地面上，另一端与所述腿部接触而限制所述腿部的移动半径。

3.根据权利要求2所述的具有防破损功能的基板处理系统，其特征在于，

所述腿部包含：

框架，用于支撑流体罐；和

转动部件，在所述框架的下端以球形设置，并与所述支撑部件的上表面接触而能够移动或转动。

4.根据权利要求2所述的具有防破损功能的基板处理系统，其特征在于，

在所述支撑部件的上表面形成有凹陷部，该凹陷部具有曲率并向内侧凹陷，从而防止所述旋转部件从所述支撑部件脱离。

5.根据权利要求3所述的具有防破损功能的基板处理系统，其特征在于，

在所述支撑部件的上表面形成有凹陷部，该凹陷部具有曲率并向内侧凹陷，从而防止从所述旋转部件从所述支撑部件脱离。