[发明专利]用于经由化学气相沉积处理的材料生产的筒形反应器

摘要

本发明通过使沉积反应发生在密封的坩埚内部而不是水冷反应器的整个空腔内部而克服了西门子反应器的限制。坩埚本身位于筒形反应器内部，其在坩埚和反应器壁之间可具有热屏蔽件，以显著减少辐射能损耗。此外，坩埚中沉积表面积与空腔容积的比率比西门子反应器中柱沉积表面积与整个空腔容积的比率要高得多，这导致气体分子与沉积表面更高的接触百分比。这又导致气体中材料至沉积表面上材料的更高的实际转化率。

主权项

一种用于经由化学气相沉积处理生产材料的方法，包括：a.提供能够与周围自由空间密封的容器；b.提供能够被加热并能够设置在所述容器内部的沉积表面；c.提供沉积气体混合物进入所述容器的流动，同时避免沉积气体混合物在所述容器周围的自由空间内的流动；d.提供排出气体流出所述容器的流动，同时避免排出气体在所述容器周围的自由空间内的流动；e.将所述沉积表面设置在所述容器内、与所述周围自由空间密封所述容器、加热所述沉积表面、使沉积气体混合物流入所述容器、并使排出气体流出所述容器，使得材料硬皮沉积到所述沉积表面上并且充分填充所述容器的空隙容积；f.停止并洗涤进入所述容器的沉积气体混合物流，并以如下任意方式持续生产周期：i.在所述沉积表面由与所述沉积材料相同的材料构成的情况下，简单地开启所述容器，并回收由用于进一步处理的所述材料硬皮充分填充的所述容器；ii.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且固体产品为所需的情况下：1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，使得所述沉积表面界面处的薄层材料液化，并且材料硬皮脱落；2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面与所述容器中脱落的材料硬皮分离；3.回收由用于进一步处理的材料硬皮充分填充的所述容器；iii.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且熔融产品为所需的情况下：1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，并保持所述沉积表面与所述材料接触直至所述材料熔融；2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面与所述容器中的熔融材料分离；3.回收由用于进一步处理的熔融材料充分填充的所述容器；iv.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且结晶产品为所需的情况下：1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，并保持所述沉积表面与所述材料接触直至所述材料熔融；2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面以可控的速率与熔融材料分离，从而发生材料的特定冷却和结晶；3.回收由用于进一步处理的结晶材料充分填充的所述容器。