[发明专利]用于将一面作构造化照射的照射装置

摘要

本发明是有关于一种用于对一晶圆进行构造化照射的照射装置（14），包括至少一照射机构（13），其中，利用两微镜数组（5.1，5.2）对一被分为两分射线束（2.1，2.2）的射线束（2）进行调变从而提高照射晶圆的通过速度。

主权项

一种用于对一晶圆进行构造化照射的照射装置(14)，包括至少一照射机构(13)，在该照射机构中，沿一光轴先后布置有一发出一射线束(2)的表面发射器(1)、多个用于将该射线束(2)映像至一用于构造化该射线束(2)的下游微镜数组(5.1)的光学组件、一第一光学映像系统(9)、一对应于该微镜数组(5.1)的微透镜数组(10)，以及一用于将经构造化的该射线束(2)映像于该照射机构(13)的一像场(12)中的第二光学映像系统(11)，该像场覆盖一待照明晶圆的一部分，其特征在于，该微镜数组(5.1)是一第一微镜数组(5.1)，该第一微镜数组前设有一第一分光器(4)，该第一分光器将该射线束(2)分为沿一第一及一第二光轴(3.1；3.2)的一第一及一第二分射线束(2.1；2.2)，在该第二分射线束(2.2)的方向上设有一第二微镜数组(5.2)，其中，在该第一光学映像系统(9)前设有一第二分光器(8)，该第二分光器将两分射线束(2.1；2.2)重新重组为一射线束(2)，两分射线束在两分光器(4，8)之间的光程长度相等，其中，沿该第一及该第二光轴(3.1，3.2)观察，在第一微镜数组前设置一第一前致偏镜以及一第一后致偏镜，在第二微镜数组前以相同方式设置一第二前致偏镜以及一第二后致偏镜，第一前致偏镜及第一后致偏镜以同一规定入射角将第一分射线束引向第一微镜数组，第二前致偏镜及第二后致偏镜以同一规定入射角将第二分射线束引向第二微镜数组，该第一分光器(4)与各微镜数组(5.1，5.2)之间的光程相等。