[实用新型]一种化学气相沉积设备及其托盘

摘要

本实用新型涉及外延制作材料技术，尤其是一种化学气相沉积设备的托盘，所述托盘包括衬底承载面和多个限位件，所述多个限位件相互间隔设置于所述衬底承载面上，所述多个限位件用于限定多个衬底在所述承载面上的位置，所述限位件在平行所述衬底承载面的平面的第一截面上呈多边形或呈具有向内弯曲的边的多边形，所述多边形的角为圆角。本实用新型还提供具有这种托盘的化学气相沉积设备。本实用新型对托盘限位件的结构进行改进，比现有技术的限位件更经久耐用，避免因碰撞而破损所导致限位件材料溢出污染衬底，且限位件活动插接于托盘上，使用更方便。

主权项

一种化学气相沉积设备的托盘，所述托盘包括衬底承载面和多个限位件，所述多个限位件相互间隔设置于所述衬底承载面上，所述多个限位件用于限定多个衬底在所述承载面上的位置，其特征在于：所述限位件在平行所述衬底承载面的平面的第一截面上呈多边形或呈具有向内弯曲的边的多边形，所述多边形的角为圆角。