[实用新型]单晶炉及其坩埚托杆有效

专利信息
申请号: 201220657314.5 申请日: 2012-12-03
公开(公告)号: CN202968743U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 白剑铭;孙二凯 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/10
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型提供了一种单晶炉的坩埚托杆,包括托杆本体,其特征在于,还包括设置在所述托杆本体上的环状导流部,且所述环状导流部伸出所述托杆本体的外壁的距离大于所述单晶炉的护盘压片与所述外壁之间的距离。本实用新型提供的单晶炉的坩埚托杆,因增设了对多晶硅溶液具有导流作用的环状导流部,避免了硅溶液顺着托杆本体流到托杆本体底部对坩埚轴波纹管、控制线路和水冷电缆造成损害,消除了安全隐患,保证了单晶炉的正常、安全生产。本实用新型还提供了一种具有上述坩埚托杆的单晶炉。
搜索关键词: 单晶炉 及其 坩埚
【主权项】:
一种单晶炉的坩埚托杆,包括托杆本体,其特征在于,还包括设置在所述托杆本体上的环状导流部,且所述环状导流部伸出所述托杆本体的外壁的距离大于所述单晶炉的护盘压片与所述外壁之间的距离。
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