[实用新型]一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置有效
| 申请号： | 201220581514.7 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN203134809U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 田宗民;阎长江;谢振宇 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 王黎延;张振伟 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置，该薄膜晶体管包括：栅极、有源层以及位于栅极和有源层之间的栅极绝缘层，其特征在于，所述栅极绝缘层和有源层之间还设置有晶体材料薄膜层。本实用新型可克服栅极绝缘层中-OH基团与有源层发生界面反应、以及栅极绝缘层表面被轰击产生的缺陷，从而优化薄膜晶体管的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 阵列 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，包括栅极、有源层以及位于栅极和有源层之间的栅极绝缘层，其特征在于，所述栅极绝缘层和有源层之间还设置有晶体材料薄膜层。
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