[实用新型]坩埚轴及包括该坩埚轴的坩埚组合体有效
申请号: | 201220565127.4 | 申请日: | 2012-10-31 |
公开(公告)号: | CN202945364U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 毛静;李侨;马少林 | 申请(专利权)人: | 西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种坩埚轴及包括该坩埚轴的坩埚组合体,所述坩埚轴包括托盘且通过支撑杆支撑,支撑杆设有隔热件,托盘与坩埚本体紧密配合。本实用新型坩埚轴由托盘与支撑杆构成,可选用刚度、强度高且抗腐蚀、抗热震能力强的材料作为支撑杆,并在支撑杆外部或内部设置隔热件,可有效阻止热量从支撑杆的外缘面散发,提高了坩埚组合体的保温效果,降低了热损耗,延长了坩埚轴及坩埚本体的使用寿命,降低了设备成本和生产成本。同时,坩埚轴与坩埚本体紧密配合,可实现准确控制坩埚本体的转动。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 包括 组合 | ||
【主权项】:
一种坩埚轴,其特征在于:包括托盘(11)且通过支撑杆(12)支撑,所述支撑杆(12)设有隔热件(13),所述托盘(11)与坩埚本体(100)紧密配合。
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