[实用新型]坩埚轴及包括该坩埚轴的坩埚组合体

权利要求书

1.一种坩埚轴，其特征在于：包括托盘（11）且通过支撑杆（12）支撑，所述支撑杆（12）设有隔热件（13），所述托盘（11）与坩埚本体（100）紧密配合。

2.如权利要求1所述的坩埚轴，其特征在于：所述隔热件（13）套设于所述支撑杆（12）的外围。

3.如权利要求1所述的坩埚轴，其特征在于：所述隔热件（13）嵌设于所述支撑杆（12）内。

4.如权利要求1-3任一项所述的坩埚轴，其特征在于：所述托盘（11）设有与坩埚（100）底部形状相匹配的支撑面（115），所述托盘还设有暴露于所述支撑面（115）的配合孔（114），所述支撑杆（12）穿过所述配合孔（114）与所述托盘（11）相配合。

5.如权利要求4所述的坩埚轴，其特征在于：所述支撑杆（12）包括相连接的配合部（120）和主体部（121），所述配合部（120）穿过所述配合孔（114），所述主体部（121）的外径大于所述配合部（120）的外径且设有与所述配合部（120）的外缘面相连接的承载面（126），所述托盘（11）承载于所述承载面（126）。

6.如权利要求5所述的坩埚轴，其特征在于：所述托盘（11）还设有暴露于所述支撑面（115）且与所述配合孔（114）连通的多个第一孔（113），所述支撑杆（12）设有数量、位置分别与所述多个第一孔（113）的数量及位置相对应的多个第二孔（124），每个第二孔（124）与一个对应的第一孔（113共同构成一个固定孔（125），所述固定孔（125）内插有固定件（14），定位托盘（11）与支撑杆（12）。

7.一种包括如权利要求1-6任一项所述坩埚轴的坩埚组合体，其特征在于：包括坩埚本体（100），所述坩埚本体（100）与所述托盘（11）紧密配合。

8.如权利要求7所述的坩埚组合体，其特征在于：所述坩埚本体（100）设有与所述托盘（11）接触的接触面（31），所述接触面（31）与设置在所述托盘（11）上的支撑面（115）相匹配。

9.如权利要求8所述的坩埚组合体，其特征在于：所述接触面（31）与支撑面（115）的截面均为阶梯状。