[实用新型]一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置有效
| 申请号： | 201220542339.0 | 申请日： | 2012-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN202845366U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张凌松 | 申请（专利权）人： | 宿迁宇龙光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置，包括水槽，所述水槽顶部设有盖板，水槽底部设有排水孔，水槽的左右侧壁上部分别对称设有冲淋管。用本实用新型进行脱胶冲淋时，将多晶硅片通过脱胶工装放入水槽，开启电源后，电机启动，带动传动轮转动，通过连杆作用带动冲淋管进行来回转动，使得冲淋管一侧的冲淋嘴进行上下摆动冲淋。从上述工作过程可知，用本实用新型进行多晶硅片的冲淋，既节省时间、降低生产成本，又能保证多晶硅片的冲淋效果，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 摆动 脱胶 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置，包括水槽（1），所述水槽（1）顶部设有盖板（6），水槽（1）底部设有排水孔（7），其特征在于：水槽（1）的左右侧壁（2）上部分别对称设有冲淋管（3）。
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