[实用新型]平面研磨装置

摘要

本实用新型涉及平面研磨装置，所述平面研磨装置包括由支点支承的杆,支承在杆的一端、在中途配置负荷计的上平板吊上轴,可朝夹着支点的相反侧移动地配置的锤,以及使得上述类似天平装置的上平板作用负荷调整装置整体按任意量升降的自动升降装置,一边由负荷计检测上平板加压力,一边使得锤的位置微小移动,能常时高精度设定加压力。能进行加压力的微调整,进而,能考虑平板磨耗进行加压力调整。

主权项

一种平面研磨装置，将保持作为被加工物的工件的多个工件载体,圆周状配置在组装在水平面内的中心齿轮和内齿轮之间,在夹入到上平板和下平板之间的状态下,一边供给研磨材料一边使得工件载体自转及公转,研磨工件两面,成为所定厚度,其特征在于: 相对上平板自重,使得力朝提升其的方向作用,进行上平板对工件的加压力的设定; 用连接部件一端连接悬吊上平板的部件,另一端连接移动的锤,在支点支承该连接部件的中间部,构成负荷控制装置,使得该负荷控制装置整体与升降装置连接定位。