[实用新型]平面研磨装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及双面同时研磨水晶、硅、玻璃、金属、其他各种各样材料表面的平面研磨装置。

背景技术

图5表示以往技术的平面研磨装置的外观图。标准的平面研磨装置的上部结构由上部臂50、上平板升降用缸51、支承轴10、上平板2构成。上平板升降用缸51实行上平板的升降动作，同时，在工件加工时，朝着提升上平板的方向作用负荷，进行缸内压力调整,使得(上平板自重-缸提升力)的值成为向工件面上作用的合适的加压力。

作为以往技术的其他实施例,专利文献1(日本特开2001-88012号公报)及专利文献2(日本特开平2-152766号公报)等为人们所公知。

专利文献1记载的平面研磨装置作为加压力的设定方法,采用逆方向负荷发生机构,其将绳索卷绕在缆车上,绳索一端与上平板连结，将锤连结在另一端。因上平板自重引起的负荷和锤重量引起的负荷之差成为向工件的作用力。该作用力通过调整锤重量进行调整。

专利文献2记载的平面研磨装置配置可移动锤,用于在回转自如地支承中间点的天平杆的一端悬挂设置上平板，在另一端设定逆方向负荷，还设有根据杆前端位移量读取上下平板的位移量的磨耗量表示手段。

以往技术的平面研磨装置如上所述。

上述那样的以往技术的平面研磨装置存在不能容易地调整研磨加工时对工件的加压力的课题。

例如,在图5所示的以往技术的平面研磨装置中,检测缸内的内压力的变化量,进行微调整,调整加压力,但是,因在缸滑动部的摩擦力的影响,以及检测精度和控制精度等有局限,存在不能设定高精度的加压力的课题。

再有,在加工前工序,在使得上平板向下平板方向下降、抵达与工件接触(着座)的工序中，需要尽可能降低对工件的作用负荷，在上述那样的结构中，难以检测低负荷水平。

因此，有时工件的加工质量降低，或在上平板抵达时损伤工件。工件为水晶等薄件且是脆性材料场合，上述倾向更明显。

又，在专利文献1记载的平面研磨装置中,使得锤增减的调整由手工作业实行,不可能设定微小的推压力,难以设定高精度的加压力。

另一方面，在专利文献2记载的平面研磨装置中,由于对天平杆进行负荷设定，因此，加压力设定能高精度化。又，若自动地移动锤以及读取平板的磨耗量等，则似乎能减少设定作业烦杂，提高设定精度。但是,在上述方法中,既不能区别上下平板磨耗量,也不直接检测因上平板的磨耗而引起的自重变化,因此,难以精度良好地求得自重变化量。又,在本结构中,若平板磨耗进展,则平板侧的连结点朝下方移动,锤侧的连结点朝上方移动,天平杆的姿势成为大的倾斜。这并不局限于装置构成上问题,还引起类似天平装置精度降低,对使用方法等也产生制约。

再有,在上述任一装置中,在使得上平板向下平板方向下降、抵达与工件接触的工序中，难以降低着座负荷。

发明内容

于是,本实用新型就是为了解决上述问题而提出来的,本实用新型的目的在于,能进行加压力的微调整,根据上平板的磨耗量调整作用在工件上的加压力,能将加压力维持为一定,且减小上平板向下平板方向着座时的负荷。

为了解决上述课题,本实用新型提出以下技术方案:

(1)一种平面研磨装置，将保持作为被加工物的工件的多个工件载体,圆周状配置在组装在水平面内的中心齿轮和内齿轮之间,在夹入到上平板和下平板之间的状态下,一边供给研磨材料一边使得工件载体自转及公转,研磨工件两面,成为所定厚度,其特征在于:

相对上平板自重,使得力朝提升其的方向作用,进行上平板对工件的加压力的设定;

用连接部件一端连接悬吊上平板的部件,另一端连接移动的锤,在支点支承该连接部件的中间部,构成负荷控制装置,使得该负荷控制装置整体与升降装置连接,在任意位置定位。

(2)在技术方案(1)所述的平面研磨装置中，其特征在于:

作为上述负荷控制装置的支点的材质,使用蓝宝石或金刚砂那样的无机类硬质材料。

(3)在技术方案(1)或(2)所述的平面研磨装置中，其特征在于:

在上述上平板吊上轴的中途,设置拉伸用负荷计,通过检测因上平板磨耗而引起的自重变化,自动进行因平板磨耗引起的加压力调整。

(4)在技术方案(1)-(3)任一个所述的平面研磨装置中，其特征在于:

在将要加工前,使得上平板抵达到下平板上的工序中,使得负荷控制装置以支点为中心,设定为大致平衡状态,明显减小着座时作用在工件上的负荷。

下面,说明本实用新型的效果: