[实用新型]平面研磨装置

权利要求书

1.一种平面研磨装置，将保持作为被加工物的工件的多个工件载体,圆周状配置在组装在水平面内的中心齿轮和内齿轮之间,在夹入到上平板和下平板之间的状态下,一边供给研磨材料一边使得工件载体自转及公转,研磨工件两面,成为所定厚度,其特征在于: 

相对上平板自重,使得力朝提升其的方向作用,进行上平板对工件的加压力的设定; 

用连接部件一端连接悬吊上平板的部件,另一端连接移动的锤,在支点支承该连接部件的中间部,构成负荷控制装置,使得该负荷控制装置整体与升降装置连接定位。 

2.如权利要求1所述的平面研磨装置，其特征在于: 

作为上述负荷控制装置的支点的材质,使用无机类硬质材料蓝宝石或金刚砂。 

3.如权利要求1或2所述的平面研磨装置，其特征在于: 

在上述上平板吊上轴的中途,设置拉伸用负荷计,通过检测因上平板磨耗而引起的自重变化,自动进行因平板磨耗引起的加压力调整。 

4.如权利要求1或2所述的平面研磨装置，其特征在于: 

在将要加工前,使得上平板抵达到下平板上的工序中,使得负荷控制装置以支点为中心,设定为平衡状态,明显减小着座时作用在工件上的负荷。 

5.如权利要求3所述的平面研磨装置，其特征在于: 

在将要加工前,使得上平板抵达到下平板上的工序中,使得负荷控制装置以支点为中心,设定为平衡状态,明显减小着板时作用在工件上的负荷。