[实用新型]一种用于蓝宝石单晶炉的液压升降式坩埚支撑系统有效

专利信息
申请号: 201220494049.3 申请日: 2012-09-26
公开(公告)号: CN202945360U 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 姜宏伟;李荣林;李辉;张洪涛 申请(专利权)人: 南京晶升能源设备有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/20
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 程化铭
地址: 210000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种用于蓝宝石单晶炉用液压升降式坩埚支撑系统,包括架台和固定安装在架台上的炉体,其特征在于:与炉体对应的架台上设有与炉体下法兰对应的孔,炉体下法兰下部与垂直升降平台固定连接,炉体下法兰依次向上设有水冷铜盘、下隔热层、下加热器、坩埚支撑柱、坩埚支撑块和坩埚,当垂直升降平台上升后,炉体下法兰周边与炉体密封接触。其优点是:升降过程中不会对下热场组件构成结构损害,提高了坩埚在运动中的平稳性,提高了装卸料的效率,并提高了装、卸料过程中的安全性能。
搜索关键词: 一种 用于 蓝宝石 单晶炉 液压 升降 坩埚 支撑 系统
【主权项】:
一种用于蓝宝石单晶炉用液压升降式坩埚支撑系统,包括架台和固定安装在架台上的炉体,其特征在于:与炉体对应的架台上设有与炉体下法兰对应的孔,炉体下法兰下部与垂直升降平台固定连接,炉体下法兰依次向上设有水冷铜盘、下隔热层、下加热器、坩埚支撑柱、坩埚支撑块和坩埚,当垂直升降平台上升后,炉体下法兰周边与炉体接触后形成密封。
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