[实用新型]一种用于蓝宝石单晶炉的液压升降式坩埚支撑系统有效
申请号: | 201220494049.3 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN202945360U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 姜宏伟;李荣林;李辉;张洪涛 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 程化铭 |
地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于蓝宝石单晶炉用液压升降式坩埚支撑系统,包括架台和固定安装在架台上的炉体,其特征在于:与炉体对应的架台上设有与炉体下法兰对应的孔,炉体下法兰下部与垂直升降平台固定连接,炉体下法兰依次向上设有水冷铜盘、下隔热层、下加热器、坩埚支撑柱、坩埚支撑块和坩埚,当垂直升降平台上升后,炉体下法兰周边与炉体密封接触。其优点是:升降过程中不会对下热场组件构成结构损害,提高了坩埚在运动中的平稳性,提高了装卸料的效率,并提高了装、卸料过程中的安全性能。 | ||
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【主权项】:
一种用于蓝宝石单晶炉用液压升降式坩埚支撑系统,包括架台和固定安装在架台上的炉体,其特征在于:与炉体对应的架台上设有与炉体下法兰对应的孔,炉体下法兰下部与垂直升降平台固定连接,炉体下法兰依次向上设有水冷铜盘、下隔热层、下加热器、坩埚支撑柱、坩埚支撑块和坩埚,当垂直升降平台上升后,炉体下法兰周边与炉体接触后形成密封。
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