[实用新型]新型薄膜厚度检测装置有效
| 申请号： | 201220484860.3 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202903141U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孙德刚;唐建东 | 申请（专利权）人： | 深圳职业技术学院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 刘显扬;田亚军 |
| 地址： | 518055 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种新型薄膜厚度检测装置，包括激光发射模块、光学平台、试件平台、激光接收模块、图像采集模块和图像处理模块；所述激光发射模块发出的激光顺序通过所述光学平台、所述试件平台至所述激光接收模块；所述激光接收模块、所述图像采集模块和所述图像处理模块顺序电性连接。本实用新型的有益效果是：采用激光发射模块和激光接收模块，采集激光透射被检薄膜后的信号，通过图像处理模块进行分析，以判断被检薄膜的厚度，设备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 薄膜 厚度 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种新型薄膜厚度检测装置，其特征在于：包括激光发射模块、光学平台、试件平台、激光接收模块、图像采集模块和图像处理模块；所述激光发射模块发出的激光顺序通过所述光学平台、所述试件平台至所述激光接收模块；所述激光接收模块、所述图像采集模块和所述图像处理模块顺序电性连接。
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