[实用新型]气体输送系统有效
| 申请号： | 201220434914.5 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN202758844U | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 郑修锋;解毅;朱义党;胡可绿;王华钧;忻圣波 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造装置，尤其是一种气体输送系统，它包括连接至气源的气体入口、连接至反应腔的气体出口；连接于气体入口与气体出口之间的过滤器；连接于过滤器与气体出口之间的流量控制阀；连接于过滤器与流量控制阀之间的止回阀。本实用新型的优点是：止回阀能够阻挡返流气体，使得返流气体不会对过滤器造成影响，能够保证过滤器的性能不受影响，一方面降低由于更换过滤器带来的成本增加，另一方面确保后续生产中气体的纯净，使得其局部放电性能不受影响，保证生产的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 输送 系统 | ||
【主权项】：
一种气体输送系统，包括连接至气源的气体入口、连接至反应腔的气体出口；连接于气体入口与气体出口之间的过滤器；连接于过滤器与气体出口之间的流量控制阀；其特征在于，该气体输送系统还包括连接于过滤器与流量控制阀之间的止回阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海宏力半导体制造有限公司，未经上海宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220434914.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
