[实用新型]用于硅片清洗的前置机械手有效
| 申请号： | 201220274427.7 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN202726916U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 李继忠 | 申请（专利权）人： | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213025 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架、固定框和Y轴滑块，防腐框架通过导轨副可滑动地支撑在固定框上，防腐框架上固定有X轴驱动装置和Y轴驱动装置，X轴驱动装置通过齿轮齿条副与固定框相连接，Y轴驱动装置通过滚珠丝杠副与Y轴滑块固定连接，Y轴滑块上固定连接有升降臂，升降臂上固定连接有挂钩装置，滚珠丝杠副安装在防腐框架内，防腐框架上设有防腐折叠布，Y轴滑块和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布的一侧，升降臂穿过防腐折叠布，挂钩装置位于防腐折叠布的另一侧，升降臂和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板。本实用新型将机械手的整个传动部位与强酸环境分离开，具有一定的防腐功能，延长了机械手的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 清洗 前置 机械手 | ||
【主权项】：
一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架（1）、固定框（2）和Y轴滑块（3），防腐框架（1）通过导轨副可滑动地支撑在固定框（2）上，防腐框架（1）上固定有X轴驱动装置（4）和Y轴驱动装置（5），X轴驱动装置（4）通过齿轮齿条副与固定框（2）相连接，Y轴驱动装置（5）通过滚珠丝杠副与Y轴滑块（3）固定连接，Y轴滑块（3）上固定连接有升降臂（6），升降臂（6）上固定连接有挂钩装置（7），其特征在于：滚珠丝杠副安装在防腐框架（1）内，防腐框架（1）上设有防腐折叠布（8），Y轴滑块（3）和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布（8）的一侧，升降臂（6）穿过防腐折叠布（8），挂钩装置（7）位于防腐折叠布（8）的另一侧，升降臂（6）和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板（9）。
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