[实用新型]一种镀膜机有效
| 申请号： | 201220244520.3 | 申请日： | 2012-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN202766611U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 许峰 | 申请（专利权）人： | 苏州市博飞光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215124 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。通过橄榄形修正板中间宽，两端尖细的形状来调整修正镀膜伞上工件的膜厚均匀性，具有减小膜厚误差，提高光学薄膜厚度均匀性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。
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