[实用新型]一种镀膜机有效
申请号: | 201220244520.3 | 申请日: | 2012-05-29 |
公开(公告)号: | CN202766611U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 许峰 | 申请(专利权)人: | 苏州市博飞光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215124 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 | ||
1.一种镀膜机,包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞,所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源,其特征在于,所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板,所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机,其特征在于,所述修正板设于所述蒸发源的正上方,且其两端尖部分别到所述镀膜伞之间的距离相等。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机,其特征在于,所述修正板由支撑杆支撑固定于所述真空腔室的底面上。
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