[实用新型]半导体清洗设备中的机械手夹持机构有效
| 申请号： | 201220219707.8 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202638832U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·罗伯特·休斯特;祝宇云 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置分别驱动的两根旋转轴，旋转轴上各固定有机械臂，机械臂上具有拾取器，还包括检测旋转轴旋转角度的位置传感器、与晶圆花篮接触的检测开关以及控制动力装置的控制单元，所述的动力装置为可正反转的电机，所述的检测开关固定连接在机械臂上，位置传感器和检测开关通过信号线与控制单元相连接。本实用新型结构简单，能够夹取不同规格的晶圆花篮并且能够辨别是否夹空。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 中的 机械手 夹持 机构 | ||
【主权项】：
一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置（6）分别驱动的两根旋转轴（1），旋转轴（1）上各固定有机械臂（2），机械臂（2）上具有拾取器（2‑1），其特征在于：还包括检测旋转轴（1）旋转角度的位置传感器（3）、与晶圆花篮（4）接触的检测开关（5）以及控制动力装置（6）的控制单元，所述的动力装置（6）为可正反转的电机，所述的检测开关（5）固定连接在机械臂（2）上，位置传感器（3）和检测开关（5）分别通过信号线与控制单元相连接。
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