[实用新型]一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪

摘要

本实用新型提供一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪：包括轨道以及设置于轨道上的可以移动的横梁，椭偏仪的检测系统设置于横梁上。本实用新型所述在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪采用横梁与轨道组成的H型结构的轨道运动系统代替现有椭偏仪的底座，利用轨道运动系统可以将椭偏仪的检测系统设置于真空腔室内，由于横梁可以移动，使检测范围覆盖玻璃基板表面的所有有效区域，因此，无需取出腔室内的玻璃基板，就可对玻璃基板上蒸镀的有机材料进行检测，省时省力，提高了检测效率，同时，相比在大气环境下进行的检测，腔室内真空环境中的检测不受水、氧气的影响，因而使检测结果更加接近实际值，提高了检测的准确度。

主权项

一种在腔室内检测有机膜层结构的椭偏仪，其特征在于：包括轨道(1)以及设置于轨道(1)上的可以移动的横梁(2)，椭偏仪的检测系统(3)设置于横梁(2)上。