[实用新型]镀膜靶台有效
| 申请号： | 201220140226.8 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN202576549U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 郑芳平;彭顺明 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种镀膜靶台，包括：支架；加热装置，设置在所述支架上；电源控制装置，设置所述支架底部，用于控制所述加热装置加热；粘靶台面，层叠地设置在所述加热装置上；靶材夹持件，嵌入式地设置在所述粘靶台面上；以及夹具结构，设置在所述支架上，用于夹持玻璃基板。在粘靶台面上设置靶材夹持件来代替通常的螺钉，能够防止螺钉、螺孔在加热的过程中造成的温度不均匀和可能出现的变形，使得热量能够充分均匀的被靶件吸收，提高了镀膜的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 靶台 | ||
【主权项】：
一种镀膜靶台，其特征在于，包括：支架；加热装置，设置在所述支架上；电源控制装置，设置所述支架底部，用于控制所述加热装置加热；粘靶台面，层叠地设置在所述加热装置上；靶材夹持件，嵌入式地设置在所述粘靶台面上；以及夹具结构，设置在所述支架上，用于夹持玻璃基板。
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