[实用新型]多弧离子镀膜机的电弧靶结构有效
| 申请号： | 201220127214.1 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN202595251U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 赵铭 | 申请（专利权）人： | 广东友通工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及离子镀膜设备技术领域，尤其是涉及多弧离子镀膜机的电弧靶结构，包括有靶材、引弧针，靶材为圆柱靶，靶材外周组设有可调屏蔽罩，可调屏蔽罩上设有外螺纹，所述引弧针安装在一活动轴上，引弧针的针尖设置在靶材的前端方向；靶材通过可调屏蔽罩上的外螺纹组装到一固定的外屏蔽罩之中部，且在靶材的后端接触一内部设有冷却水的水套座。本实用新型通过螺纹旋进旋出即可实现靶材的位置调整，提升靶材的利用率，且靶材为圆柱靶，通用性强，可做成多种金属靶，满足各种生产需要；设有水冷却，达到降温功效，有效防止高温烧坏的现象，提升靶材的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 镀膜 电弧 结构 | ||
【主权项】：
多弧离子镀膜机的电弧靶结构，包括有靶材（1）、引弧针（2），其特征在于：靶材（1）为圆柱靶，靶材（1）外周组设有可调屏蔽罩（3），可调屏蔽罩（3）上设有外螺纹（31），所述引弧针（2）安装在一活动轴（4）上，引弧针（2）的针尖设置在靶材（1）的前端方向；靶材（1）通过可调屏蔽罩（3）上的外螺纹（31）组装到一固定的外屏蔽罩（5）之中部，且在靶材（1）的后端接触一内部设有冷却水的水套座（6）。
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