[实用新型]等离子体表面处理装置

摘要

本实用新型提供一种等离子体表面处理装置，该装置包括箱体、与箱体连接的抽真空系统和反应气体室，该箱体内设有等离子源电极电板，该等离子源电极电板与高频高压电源连接。该等离子体表面处理步骤：将工件置于箱体内并密闭箱体；抽真空系统对箱体进行抽真空处理；从反应气体室向箱体内加入反应气体；高频高压电源输出高压电，使等离子源电极电板激发等离子体，令到反应气体被电离激发，轰击工件表面粒子而形成表面自由基。采用本实用新型进行工件等离子体表面处理，所利用的条件和工作元素都是环保无害的，无有害废气废液排出，符合绿色环保的生产原则。

主权项

一种等离子体表面处理装置，其特征在于，其包括箱体、与箱体连接的抽真空系统和反应气体室，该箱体内设有等离子源电极电板，该等离子源电极电板与高频高压电源连接。