[实用新型]数字微镜器件有效
申请号: | 201220101227.1 | 申请日: | 2012-03-16 |
公开(公告)号: | CN202494829U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 张镭;黄城;唐德明;毛剑宏;韩凤芹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种数字微镜器件,包括:基底,所述基底上形成有微镜器件控制电路结构;位于所述基底上的数字微镜阵列,数字微镜阵列中的每一数字微镜包括一个反光镜;所述反光镜为正多边形,且反光镜的边数大于五且为偶数。本技术方案的数字微镜器件的功耗减小,灵敏度高。 | ||
搜索关键词: | 数字 器件 | ||
【主权项】:
一种数字微镜器件,包括:基底,所述基底上形成有微镜器件控制电路结构;位于所述基底上的数字微镜阵列,数字微镜阵列中的每一数字微镜包括一个反光镜;其特征在于,所述反光镜为正多边形,且反光镜的边数大于五且为偶数。
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