[实用新型]一种磁控镀膜机解除靶中毒装置有效
| 申请号： | 201220037477.3 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN202830157U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 潘振强 | 申请（专利权）人： | 肇庆市振华真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 李永庆 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械生产设备技术领域，具体涉及一种磁控镀膜机解除靶中毒装置。本装置特征在于：电磁阀、质量流量控制器、闭环流量控制仪依次通过气管连接；在所述的闭环流量控制仪上设有一个或一个以上的手动微调阀，在该手动微调阀上连接有供气管；所述的供气管上设有一个或一个以上的吹气口，该吹气口吹气位置与磁控靶相对应。本实用新型可根据使用实际情况调整气量的大小，整体结构简单，可操作性强，调整方便，使用效果明显。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 解除 中毒 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控镀膜机解除靶中毒装置，其特征在于：电磁阀（2）、质量流量控制器（3）、闭环流量控制仪（4）依次通过气管连接；在所述的闭环流量控制仪（4）上设有一个或一个以上的手动微调阀（5），在该手动微调阀（5）上连接有供气管（6）；所述的供气管（6）上设有一个或一个以上的吹气口（7），该吹气口（7）吹气位置与磁控靶（8）相对应。
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