[实用新型]Ag靶材有效
| 申请号： | 201220027579.7 | 申请日： | 2012-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN202509132U | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 董清世;张洪;王小成 | 申请（专利权）人： | 信义节能玻璃（芜湖）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空磁控溅射技术中靶材结构，公开了Ag靶材，置于真空腔室的正交电磁场的阴极上，包括数个依序相接围成环形结构的靶材块，所述分别置于两端部的靶材块为呈直角弯折状的弯折靶材块。本实用新型中的Ag靶材为数个靶材块相接形成环形结构，且两端部的靶材块为呈直角弯折状的弯折靶材块，这样，可将Ag靶材端部的靶材间隙减少为一个，且Ag靶材的中间区域同一位置上的靶材间隙也减少了，这样，可以大大提高由该Ag靶材产生的金属膜层的均匀性，使得整个镀膜产品的外观颜色质量较高，且色道现象不明显，同时，也大大缩短了镀膜产品的加工工时，降低企业的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | ag 靶材 | ||
【主权项】：
Ag靶材，置于真空腔室的正交电磁场的阴极上，其特征在于，包括数个依序相接围成环形结构的靶材块，所述分别置于环形结构两端部的靶材块为呈直角弯折状的弯折靶材块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信义节能玻璃（芜湖）有限公司，未经信义节能玻璃（芜湖）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220027579.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防眩护眼型电子台灯
- 下一篇：易点燃的蚊香
- 同类专利
- 专利分类
