[发明专利]一种应用于真空镀膜领域的链传输机构无效
| 申请号： | 201210589980.4 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103046017A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 刘丽华;冯彬;孙影;佟雷;马锦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜技术领域，具体地说是一种应用于真空镀膜领域的链传输机构。包括导轨支架、基片托、带拔齿的传动链、基片及两个主动链轮，其中导轨支架设置于真空腔体内，所述两个主动链轮分别设置于导轨支架的下端两侧、并通过带拔齿的传动链传动连接，所述基片托设置于带拔齿的传动链上、并与导轨支架滑动连接，所述基片安装在基片托上；所述主动链轮驱动带拔齿的传动链水平移动，带拔齿的传动链上的拔齿带动基片托在导轨支架上水平移动。本发明适用于热场环境，能有效避免因热形变导致的传输卡壳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 真空镀膜 领域 传输 机构 | ||
【主权项】：
一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，其特征在于：包括导轨支架(1)、基片托(3)、带拔齿的传动链(6)、基片(2)及两个主动链轮(4)，其中导轨支架(1)设置于真空腔体内，所述两个主动链轮(4)分别设置于导轨支架(1)的下端两侧、并通过带拔齿的传动链(6)传动连接，所述基片托(3)设置于带拔齿的传动链(6)上、并与导轨支架(1)滑动连接，所述基片(2)安装在基片托(3)上；所述主动链轮(4)驱动带拔齿的传动链(6)水平移动，带拔齿的传动链(6)上的拔齿带动基片托(3)在导轨支架(1)上水平移动。
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