[发明专利]一种应用于真空镀膜领域的链传输机构

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，具体地说是一种应用于真空镀膜领域的链传输机构。

背景技术

目前，在国内制备镀膜领域中，比如线列式磁控溅射系统，经常需要多个真空室组成的联合工作系统，这就需要一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，这种传输机构适用于基片托(小车)的双向传输，并适用于热场环境，能有效避免因热形变导致的传输卡壳。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种应用于真空镀膜领域的链传输机构。该链传输机构适用于热场环境，能有效避免因热形变导致的传输卡壳。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，包括导轨支架、基片托、带拔齿的传动链、基片及两个主动链轮，其中导轨支架设置于真空腔体内，所述两个主动链轮分别设置于导轨支架的下端两侧、并通过带拔齿的传动链传动连接，所述基片托设置于带拔齿的传动链上、并与导轨支架滑动连接，所述基片安装在基片托上；所述主动链轮驱动带拔齿的传动链水平移动，带拔齿的传动链上的拔齿带动基片托在导轨支架上水平移动。

所述两个主动链轮之间设有与带拔齿的传动链连接的涨紧轮。所述涨紧轮为多个。所述基片托的两侧设有多个与导轨支架滑动连接的运动小车轮。所述基片托的一侧安装有导向小车轮。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明采用双向链轮机构满足双向传输的需要。

2.本发明定做带拨齿的链条把动力传给基片托。

3.本发明采用涨紧轮有效防松。

4.本发明单侧限位解决了因热形变导致的传输卡壳难题。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1的左视图。

其中：1为导轨支架，2为基片，3为基片托，4为主动链轮，5为涨紧轮，6为带拔齿的传动链，7为运动小车轮，8为导向小车轮。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。

如图1-3所示，本发明包括导轨支架1、基片托3、带拔齿的传动链6、基片2、涨紧轮5及两个主动链轮4，其中导轨支架1设置于真空腔体内，两个主动链轮4分别设置于导轨支架1的下端两侧、并通过带拔齿的传动链6传动连接，基片托3设置于带拔齿的传动链6上、并与导轨支架1滑动连接，基片2安装在基片托3上。两个主动链轮4之间设有多个与带拔齿的传动链6连接的涨紧轮5，防止带拔齿的传动链6松动。基片托3的两侧设有多个与导轨支架1滑动连接的运动小车轮7，用于减少基片托3和导轨支架1之间的摩擦运动阻力。为了保证传输有良好的直线性和解决因热形变导致的传输卡壳难题，只在基片托3的一侧安装有导向小车轮8。

通过手动或电动机的转轴引入到真空腔体内驱动其中一个主动链轮4，主动链轮4驱动带拔齿的传动链6水平移动，带拔齿的传动链6上的拔齿带动基片托3在导轨支架1上水平移动。