[发明专利]一种硅片研磨液的搅拌桶无效
申请号: | 201210578376.1 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN103041727A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B01F7/16 | 分类号: | B01F7/16 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明一种硅片研磨液的搅拌桶,包括桶体,所述桶体内设有搅拌装置,所述搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶,所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端,其中,所述搅拌叶包括连接部分,所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面,每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片,所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接,搅拌时,通过搅拌片边缘的圆弧凸面与搅拌片进行搅拌,形成纵向与横向搅拌,不仅增加了搅拌面积,且改变颗粒物的流向,从而,使研磨液内的颗粒物分散更加均匀,大大提高了硅片的切割质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 研磨 搅拌 | ||
【主权项】:
一种硅片研磨液的搅拌桶,包括桶体,所述桶体内设有搅拌装置,所述搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶,所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端,其特征在于,所述搅拌叶包括连接部分,所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面,每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片,所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接。
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