[发明专利]一种用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备无效
| 申请号： | 201210575666.0 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103021784A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 温贻芳;薛迎春;宋冬萍 | 申请（专利权）人： | 苏州工业职业技术学院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 吕书桁 |
| 地址： | 215104 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备，包含真空腔罩、空心阴极接枝聚合组件、真空腔头；空心阴极接枝聚合组件包含放料辊、导料辊、收料辊、接枝单体布气管、空心阴极管、薄膜材料；空心阴极管均包含外阳极管、绝缘管、内阴极管；空心阴极管上均设置有与内阴极管内部的空间相连通的进气口和等离子体喷口；空心阴极管产生等离子体对薄膜材料的表面进行处理，等离子体的密度大，薄膜材料接枝聚合的均匀性高，薄膜材料远离等离子体处理区域，副反应少，可以保持薄膜基材的机械性能，达到对薄膜长效改性的目的；而且等离子体表面活化和接枝聚合可以同时进行，大大提高了处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大面积 薄膜 材料 空心 阴极 接枝 聚合 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备，其特征在于：包含真空腔罩（1）、空心阴极接枝聚合组件（4）、真空腔头（5）；所述真空腔罩（1）与真空腔头（5）组合形成密封的真空空间；所述空心阴极接枝聚合组件（4）设置在真空腔罩（1）与真空腔头（5）内的真空空间中；所述空心阴极接枝聚合组件（4）包含放料辊（6）、导料辊（7）、收料辊（8）、接枝单体布气管（9）、空心阴极管（10）、薄膜材料（11）；所述导料辊（7）、接枝单体布气管（9）、空心阴极管（10）有多个；所述薄膜材料（11）由放料辊（6）放出，经过导料辊（7）导向，再由收料辊（8）收回；所述每个接枝单体布气管（9）和空心阴极管（10）均设置在靠近薄膜材料（11）的位置上；所述单体布气管（9）与空心阴极管（10）呈相互交错的设置；所述每个空心阴极管（10）均包含外阳极管（21）、绝缘管（22）、内阴极管（23）；所述内阴极管（23）设置在外阳极管（21）的内部；所述绝缘管（22）设置在外阳极管（21）和内阴极管（23）之间；所述每个空心阴极管（10）上均设置有与内阴极管（23）内部的空间相连通的进气口（25）和等离子体喷口（24）；所述每个等离子体喷口（24）均设置在空心阴极管（10）靠近薄膜材料（11）的位置上。
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