[发明专利]一种用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备无效
| 申请号： | 201210575666.0 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103021784A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 温贻芳;薛迎春;宋冬萍 | 申请（专利权）人： | 苏州工业职业技术学院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 吕书桁 |
| 地址： | 215104 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大面积 薄膜 材料 空心 阴极 接枝 聚合 等离子体 处理 设备 | ||
1.一种用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备，其特征在于：包含真空腔罩（1）、空心阴极接枝聚合组件（4）、真空腔头（5）；所述真空腔罩（1）与真空腔头（5）组合形成密封的真空空间；所述空心阴极接枝聚合组件（4）设置在真空腔罩（1）与真空腔头（5）内的真空空间中；所述空心阴极接枝聚合组件（4）包含放料辊（6）、导料辊（7）、收料辊（8）、接枝单体布气管（9）、空心阴极管（10）、薄膜材料（11）；所述导料辊（7）、接枝单体布气管（9）、空心阴极管（10）有多个；所述薄膜材料（11）由放料辊（6）放出，经过导料辊（7）导向，再由收料辊（8）收回；所述每个接枝单体布气管（9）和空心阴极管（10）均设置在靠近薄膜材料（11）的位置上；所述单体布气管（9）与空心阴极管（10）呈相互交错的设置；所述每个空心阴极管（10）均包含外阳极管（21）、绝缘管（22）、内阴极管（23）；所述内阴极管（23）设置在外阳极管（21）的内部；所述绝缘管（22）设置在外阳极管（21）和内阴极管（23）之间；所述每个空心阴极管（10）上均设置有与内阴极管（23）内部的空间相连通的进气口（25）和等离子体喷口（24）；所述每个等离子体喷口（24）均设置在空心阴极管（10）靠近薄膜材料（11）的位置上。
2.根据权利要求1所述的用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备，其特征在于：还包含滑轨（2）、支架（3）；所述真空腔罩（1）设置在支架（3）上；所述支架（3）可滑动地设置在滑轨（2）上。
3.根据权利要求1所述的用于大面积薄膜材料的空心阴极接枝聚合等离子体处理设备，其特征在于：所述放料辊（6）、导料辊（7）、收料辊（8）、接枝单体布气管（9）和空心阴极管（10）的轴线均相互平行。
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