[发明专利]激光处理装置有效
申请号: | 201210557358.5 | 申请日: | 2012-12-20 |
公开(公告)号: | CN103406664A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 沈亨基;李基雄;罗玉钧;崔东奎 | 申请(专利权)人: | AP系统股份有限公司;三星显示有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/14 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 郝新慧;张浴月 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本文提供一种激光处理装置,其能够仅对衬底的待进行激光处理的部分选择性地进行激光处理。该激光处理装置包括:激光发生单元,其照射激光束;反应室,其中容纳衬底;光学单元,其将从激光发生单元发射的激光束传递到反应室中;以及阻挡单元,其阻挡从激光发生单元发射的激光束。 | ||
搜索关键词: | 激光 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种激光处理装置,包括:激光发生单元,其照射激光束;反应室,其中容纳衬底;光学单元,其将从所述激光发生单元发射的所述激光束传递到所述反应室中;以及阻挡单元,其阻挡从所述激光发生单元发射的所述激光束。
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