[发明专利]一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法有效
| 申请号： | 201210540051.4 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN102981375A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李艳秋;梅秋丽;刘菲 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B17/06;G21K1/06 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李爱英;杨志兵 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，具体过程为：获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离；设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面上弧形区域的位置重合，且该孔径光阑的尺寸与弧形区域的尺寸相同；令第一中继镜的非临近焦点与所述虚拟面的中心重合，且使所述虚拟面经过第一中继镜反射后成像在它的临近焦点上；令孔径光阑经过第一中继镜反射后成像在第二中继镜的临近焦点上，再经过第二中继镜反射后成像在它的非临近焦点上；利用光线追踪原理，基于所述出瞳直径、出瞳距离及两中继镜的相对位置关系，计算出两中继镜的面型参数和位置坐标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光刻 照明 系统 中继 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，该光刻照明系统沿光路方向依次包括光源、聚光镜、双排复眼以及中继镜组构成；其特征在于，该方法的具体步骤为：步骤101、根据与所述光刻照明系统匹配的投影物镜系统的相关参数，获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离，同时获取掩模面弧形区域的尺寸；步骤102、设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；步骤103、设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面弧形区域的位置重合，且该孔径光阑的尺寸与掩模面弧形区域的尺寸相同；步骤104、定义逆向光线追迹过程中遇到的第一片中继镜为第一中继镜，遇到的第二片中继镜为第二中继镜，确定两片中继镜的相对位置关系，即：令第一中继镜的非临近焦点与所述虚拟面的中心重合，且使所述虚拟面经过第一中继镜反射后成像在它的临近焦点上；令孔径光阑经过第一中继镜反射后成像在第二中继镜的临近焦点上，再经过第二中继镜反射后成像在它的非临近焦点上；步骤105、利用光线追踪原理，基于所述出瞳直径、出瞳距离及两中继镜的相对位置关系，计算出两中继镜的面型参数和位置坐标。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京理工大学，未经北京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210540051.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种汽车 CAN 总线唤醒装置、方法及车辆
- 下一篇：支重轮端盖
