[发明专利]光学投影光刻机

摘要

本发明公开了一种光学投影光刻机，包括空间光调制器、分光系统、投影微缩镜头、对焦调节装置以及感光材料支撑系统，分光系统由二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片、遮挡板以及监视系统构成。空间光调制器对激光调制；二分之一波片调节入射光偏振方向；入射光通过偏振分光棱镜，得到透射光；四分之一波片调节透射光的偏振方向；入射光通过投影微缩镜头成像于感光材料，同时产生反射光；反射光经过四分之一波片以及偏振分光棱镜产生第三反射光，监视系统接收第三反射光并建立图像，对焦调节装置对投影微缩镜头调焦。本发明在感光材料和基底存在起伏、投影微缩镜头焦平面位置存在偏差的情况下，可实现对投影微缩镜头实时地进行对焦。

主权项

一种光学投影光刻机，用于接收激光器发出的激光，对感光材料进行曝光，其包括：空间光调制器、投影微缩镜头、对焦调节装置以及感光材料支撑系统，其特征在于，还包括分光系统，所述分光系统由二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片、遮挡板以及监视系统构成，其中，所述空间光调制器对所述激光进行调制，得到第一入射光；所述二分之一波片调节所述第一入射光的偏振方向，得到第二入射光；所述第二入射光通过所述偏振分光棱镜，得到透射光以及第一反射光；所述遮挡板吸收所述第一反射光，所述四分之一波片调节所述透射光的偏振方向，得到圆偏振光；所述感光材料支撑系统支撑所述感光材料，所述圆偏振光通过所述投影微缩镜头成像于所述感光材料，使得所述感光材料曝光，同时产生第二反射光；所述第二反射光通过所述投影微缩镜头，并经过所述四分之一波片变为平面偏振光，所述平面偏振光经过所述偏振分光棱镜产生第三反射光，所述监视系统接收所述第三反射光并建立图像；根据所述图像，通过所述对焦调节装置可对所述投影微缩镜头进行调焦。