[发明专利]一种方块式微机械谐振器

摘要

该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的方块式谐振器。包括振动方块及分别固定于振动方块四边中点的由悬梁与固定梁组成的十字形支撑梁、支撑台，输入及输出电极，二氧化硅层，基底。该发明由于将振动方块通过十字形支撑梁固定于支撑台上，并在悬梁上找出当谐振器处于平面内弯曲振动时的静止点（零位移点）作为十字形支撑梁中悬梁与固定梁的固定点；该发明在仅考虑锚点损耗的情况下平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值可较背景技术提高2.5-3.2倍。因而该发明与背景技术相比具有可进一步提高平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值及方块式微机械谐振器的性能，以及可有效提高采用该谐振器的MEMS滤波器的性能等特点。

主权项

一种方块式微机械谐振器，包括振动方块及分别固定于振动方块四边中点的由悬梁与固定梁组成的振动方块支撑梁、支撑台，输入电极及输出电极，二氧化硅层，基底，其特征在于振动方块支撑梁为十字形支撑梁，十字形支撑梁的固定点为振动方块处于平面内弯曲振动时悬梁上的静止点处；输入电极、输出电极、支撑台分别与二氧化硅层固定成一体，二氧化硅层则紧固于基底上，而振动方块及其十字形支撑梁均悬置于二氧化硅层和基底的内腔上。