[发明专利]一种靶材使用检测系统和方法有效
| 申请号： | 201210465472.5 | 申请日： | 2012-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102994970A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 李胜斌;尹明格;付艳强;刘勃;张立星;车奉周;刘占伟;金相起 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李娟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及溅射镀膜技术领域，特别涉及一种靶材使用检测系统和方法，用于防止靶材使用过量，提高溅射镀膜工序产品的合格率。本发明公开了一种靶材使用检测系统，包括：靶材，且在靶材的背板上设置有至少一个具有凹槽的凸台和与凹槽连通的导气通道，所述凹槽的槽口被所述靶材的靶胚和连接部密封；与所述导气通道连通的流量计，用于监测所述导气通道和凹槽中的气体是否流动；以及与所述流量计信号连接的溅射设备的自锁装置，用于获取所述流量计的状态，并当所述流量计显示流量时启动，使溅射设备停止工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材使用检测系统，其特征在于，包括：靶材，所述靶材的背板上设置有至少一个具有凹槽的凸台和与所述凹槽连通的导气通道，所述凸台被所述靶材的靶胚和连接部密封；与所述导气通道连通的流量计，用于监测所述导气通道和凹槽中的气体是否流动；以及与所述流量计信号连接的溅射设备的自锁装置，用于获取所述流量计的状态，并当所述流量计显示流量时启动，使溅射设备停止工作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210465472.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可定间距缝纫直线和曲线装置
- 下一篇：多孔玄武岩颗粒陶制品及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
