[发明专利]一种调节多线圈磁铁的方法无效
| 申请号： | 201210444824.9 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103811259A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 杨占光 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/21 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调节多线圈磁铁的方法，包括工控机(1)、光纤(2)、电源输入输出板(3)、多线圈磁铁接口电路(4)、开关电源(5)、驱动器(6)以及线圈磁铁(7)。说明书对一种调节多线圈磁铁的方法作出了详细说明，并给出了具体实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 线圈 磁铁 方法 | ||
【主权项】：
一种调节多线圈磁铁的方法，其特征在于：工控机(1)、光纤(2)、电源输入输出板(3)、多线圈磁铁接口电路(4)、开关电源(5)、驱动器(6)以及线圈磁铁(7)。
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