[发明专利]激光焦点定位系统及将材料定位于激光焦点处的方法有效
申请号: | 201210431903.6 | 申请日: | 2012-11-02 |
公开(公告)号: | CN102974936A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 朱志武;程湘爱;江天;许中杰;黄良金;郑鑫;邱伟成;刘泽金 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人: | 赵洪;杨斌 |
地址: | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街4*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光焦点定位系统,包括激光器、会聚透镜和材料平移装置,激光器输出的激光束入射到会聚透镜上,经聚焦后入射到材料平移装置上装夹的光学材料表面,激光束经聚焦后产生等离子体亮点,该亮点通过光学材料表面形成一亮点镜像,另设置一可同时采集等离子体亮点和亮点镜像的图像并进行输出的CCD显微成像系统。本发明还公开了一种将光学材料定位于激光焦点处的方法:先通过调节激光器等使聚焦后输出的激光束产生一等离子体亮点;控制材料表面逐渐靠近等离子体亮点,直至形成亮点镜像;使等离子体亮点及其镜像均进入CCD显微成像系统的视场,直至观察到二者完全重合。本发明具有操作简便、定位精度高、人工因素干预较小等优点。 | ||
搜索关键词: | 激光 焦点 定位 系统 材料 位于 方法 | ||
【主权项】:
一种激光焦点定位系统,包括激光器(1)、会聚透镜(4)和材料平移装置(5),所述激光器(1)输出的激光束(2)入射到会聚透镜(4)上,经会聚透镜(4)聚焦后输出的光束入射到材料平移装置(5)上装夹的待测或待加工光学材料(11)表面,其特征在于:所述激光束(2)经会聚透镜(4)聚焦后使激光焦点处的空气发生电离产生一等离子体亮点(9),该等离子体亮点(9)通过待测或待加工光学材料(11)表面形成一亮点镜像(10),所述激光焦点定位系统还包括一可同时采集等离子体亮点(9)和亮点镜像(10)的图像并进行输出的CCD显微成像系统。
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