[发明专利]一种多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺及系统无效
申请号: | 201210348632.8 | 申请日: | 2012-09-19 |
公开(公告)号: | CN102838118A | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 张伟;陈喜清;陈朝霞;叶冬梅;张吉武 | 申请(专利权)人: | 特变电工新疆硅业有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 夏晏平 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅尾气干法回收系统中热能回收工艺,包括步骤:a1、120~150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器,对合成解析塔塔釜进行加热;a2、通过旁路阀调节120~150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量,控制合成解析塔的釜温;a3、经过合成解析塔再沸器换热后的氢化或还原贫液氯硅烷进入冷却器中进行水冷,将氢化或还原贫液氯硅烷降温至30~40℃。本发明实现多晶硅尾气干法回收系统合成解析塔塔釜采用120~150℃氢化或还原贫液氯硅烷作为热源进行塔釜加热,减少了合成尾气热能回收系统蒸汽的消耗,有效的利用了多晶硅尾气干法回收系统中解析后的120~150℃氢化或还原贫液氯硅烷所携带的热量。本发明同时公开了一种多晶硅尾气干法回收中热能回收系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 尾气 回收 热能 工艺 系统 | ||
【主权项】:
一种多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺,包括步骤:a1、120~150℃氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器,对合成解析塔塔釜进行加热;a2、通过旁路阀调节120~150℃氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量,控制合成解析塔的釜温;a3、经过合成解析塔再沸器换热后的氢化或还原贫液氯硅烷进入冷却器中进行水冷,将氢化或还原贫液氯硅烷降温至30~40℃。
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