[发明专利]一种多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺及系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种多晶硅生产领域，具体涉及改良西门子法生产多晶硅的尾气回收领域。

背景技术

在改良西门子法生产多晶硅的尾气回收系统，氢化尾气及还原尾气回收系统中高压解析区的解析塔塔釜排出的高温贫液氯硅烷通过换热器水冷后，再用泵进行输送。合成尾气回收系统中高压解析区塔釜再沸器使用蒸汽进行加热，具体流程如下：

氢化尾气或还原尾气回收系统高压区：在解析塔塔釜，富液氯硅烷通过解析塔塔釜再沸器被蒸汽加热至120～150℃进行解析，被解析后的120～150℃贫液氯硅烷通过再沸器冷却器进行换热后，降温至30～40℃再通过泵进行输送至下一设备。在解析塔塔顶，-40氯化氢液体被采出，送至汽化器进行电加热汽化。

合成尾气回收系统高压区：在合成解析塔塔釜，富液氯硅烷通过合成解析塔釜再沸器被蒸汽加热至110～125℃进行解析，被解析后的110～125℃贫液氯硅烷通过合成再沸器冷却器进行换热后，降温至40℃再通过泵进行输送至下一设备。

在上述过程中氢化或还原贫液氯硅烷携带大量热量需要冷媒进行逐渐冷却消耗冷量，而合成富液氯硅烷需要热源进行加热消耗热量。但在目前工艺中合成尾气回收系统合成解析塔再沸器采用蒸汽热源进行加热解析，从这里我们也可以发现氢化尾气或还原尾气回收系统中解析后的120～150℃贫液氯硅烷所携带的热量未进行有效利用，氢化尾气、还原尾气回收系统及合成尾气回收系统热能综合利用不合理。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对生产多晶硅的改良西门子法中尾气干法回收系统热能利用不合理性，提供一种多晶硅尾气干法回收中热能回收系统，降低合成尾气回收系统的能耗。

本发明的目的通过以下技术方案来具体实现：

一种多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺，包括步骤：

a1、120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器，对合成解析塔塔釜进行加热；

a2、通过旁路阀调节120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量，控制合成解析塔的釜温；

a3、经过合成解析塔再沸器换热后的氢化或还原贫液氯硅烷进入冷却器中进行水冷，将氢化或还原贫液氯硅烷降温至30～40℃。

一种多晶硅尾气干法回收中热能回收系统，包括合成解析塔再沸器和冷却器，所述合成解析塔再沸器的热流体入口与120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷入口连通，所述合成解析塔再沸器的热流体出口与所述冷却器连通。

在所述合成解析塔再沸器的热流体入口和热流体出口之间的管道上安装有旁路阀。

本发明实现合成尾气热能回收系统中合成解析塔塔釜采用120～150℃氢化或还原贫液氯硅烷作为热源进行塔釜加热，减少了合成尾气热能回收系统蒸汽的消耗，有效的利用了氢化或还原尾气回收系统中解析后的120～150℃贫液氯硅烷所携带的热量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明实施例所述多晶硅尾气干法回收中热能回收系统的结构图。

具体实施方式

实施例一

如图1所示，本发明实施例所述的多晶硅尾气干法回收中热能回收系统，包括合成解析塔再沸器1和冷却器2，所述合成解析塔再沸器1的热流体入口与120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷入口连通，所述合成解析塔再沸器1的热流体出口与所述冷却器2连通。

在所述合成解析塔再沸器1的热流体入口和热流体出口之间的管道上安装有旁路阀3。

本发明实现多晶硅尾气干法回收中热能回收系统中合成解析塔塔釜采用120～150℃氢化或还原贫液氯硅烷作为热源进行塔釜加热，减少了合成尾气热能回收系统蒸汽的消耗，有效的利用了氢化或还原尾气回收系统中解析后的120～150℃贫液氯硅烷所携带的热量。

本发明实施例所述多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺，包括步骤：

a1、120℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器，对合成解析塔塔釜进行加热；

a2、通过旁路阀调节120℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量，控制合成解析塔的釜温；

a3、经过合成解析塔再沸器换热后的氢化或还原贫液氯硅烷进入冷却器中进行水冷，将氢化或还原贫液氯硅烷降温至30℃。

实施例二

与实施例一的不同之处在于，本发明实施例所述多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺，包括步骤：