[发明专利]一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法

摘要

本发明提供一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法，包括步骤：对倾斜条纹进行傅里叶变换、相位提取、相位展开、45°和135°条纹空间频率计算、条纹倾角计算、调整CCD图像探测器。采用CCD图像探测器对掩模光栅对准标记成像，通过傅里叶变换分析光栅条纹的相位信息，得到连续的条纹相位；以展开相位为载体，提取45°和135°条纹空间频率，间接计算条纹的倾角。然后调整CCD图像探测器获取掩模光栅对准标记的像，继续执行倾角计算，从而实现掩模光栅对准标记的正确成像，满足对准系统的要求。本发明充分利用倾斜条纹45°和135°两个正交方向上的相位信息计算条纹的倾角，方法简单，精度高，完全可以通过条纹的倾角实现CCD图像探测器的位置标定。

主权项

1.一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法，其特征在于：所述方法包括步骤：步骤S1:掩模光栅对准标记位置固定不变，利用CCD探测器件获取掩模光栅对准标记条纹像；步骤S2:采用傅里叶变换分析步骤S1获得的条纹像的相位；步骤S3:将步骤S2傅里叶变换后条纹像的包裹相位展开，得到连续的相位分布；步骤S4:通过展开后的相位，计算45°和135°两个正交方法上的条纹空间频率和步骤S5:通过45°和135°两个正交方法上的条纹空间频率，计算条纹的倾角；步骤S6:以条纹的倾角，调整CCD探测器的位置；循环执行上述六个步骤，至到条纹倾角达到某一设定阈值为止。