[发明专利]一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法有效
| 申请号： | 201210276462.7 | 申请日： | 2012-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102795629A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 姜利霞;严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌;杨永亮 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：a）将多晶硅生产工艺中的还原尾气经过干法回收得到干法回收料，将干法回收料送入第一干法精馏塔中进行精馏，从第一干法精馏塔的塔顶采出第一低沸物，并从第一干法精馏塔的塔底排出中间氯硅烷；b）将第一低沸物通入分离塔进行分离，以从分离塔的塔顶采集含硼杂质且从塔底采集二氯二氢硅；c)将中间氯硅烷送入第二干法精馏塔中进行精馏，从第二干法精馏塔的塔顶采集第二低沸物，从第二干法精馏塔的塔底排出四氯化硅。根据本发明的方法，第二低沸物为二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物，可以直接通入还原炉进行还原反应，省去了将二氯二氢硅和三氯氢硅混合的过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 提纯 二氯二氢硅 方法 | ||
【主权项】：
一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：a）将多晶硅生产工艺中的还原尾气经过干法回收得到干法回收料，将干法回收料送入第一干法精馏塔中进行精馏，从所述第一干法精馏塔的塔顶采出第一低沸物，所述第一低沸物中含有二氯二氢硅和含硼杂质，并从所述第一干法精馏塔的塔底排出中间氯硅烷；b）将所述第一低沸物通入分离塔进行分离，以从所述分离塔的塔顶采集含硼杂质且从塔底采集二氯二氢硅；c)将所述中间氯硅烷送入第二干法精馏塔中进行精馏，从所述第二干法精馏塔的塔顶采集第二低沸物，所述第二低沸物中含有二氯二氢硅和三氯氢硅，从所述第二干法精馏塔的塔底排出四氯化硅。
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