“二氯二氢硅”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9132193个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法-CN201410345206.8在审
发明人：司文学;严大洲;肖荣晖;汤传斌;杨永亮 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-18 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提出了一种利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法，包括：将四氯化硅和二氯二氢硅分别从四氯化硅入口和二氯二氢硅入口供给至精馏塔本体内；使精馏塔本体内的四氯化硅经过再沸器加热后转化成四氯化硅蒸汽进入反应区；使四氯化硅蒸汽与二氯二氢硅在反应区内发生反歧化反应，以便得到含有三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物；将含有三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物在精馏区内进行精馏处理，以便分离得到气态三氯氢硅；以及将气态三氯氢硅在冷凝器中进行冷凝处理，以便得到液态三氯氢硅，并将液态三氯氢硅的一部分返回至精馏区。该方法可以解决二氯二氢硅无法大规模处理的难题和二氯二氢硅转化率低的问题。
利用制备三氯氢硅装置方法

[发明专利]多晶硅生产方法和系统-CN201110054590.2有效
发明人：齐林喜;陈琳;刘占卿 -专利权人：内蒙古盾安光伏科技有限公司
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：多晶硅生产方法和系统。该方法包括：提供由三氯氢硅和二氯二氢硅组成的硅源，其中三氯氢硅和二氯二氢硅的比例范围在20:1和30:1之间；加热硅源以使其形成气体三氯氢硅气体和二氯二氢硅气体；提供氢气；使三氯氢硅气体和二氯二氢硅气体与氢气混合；提供设置有硅芯的还原炉；以及在还原炉中引入混合后的三氯氢硅气体、二氯二氢硅气体与氢气，并且使还原炉中的气体压力为0.4-0.6Mpa，硅芯温度为1080-1150℃，从而在硅芯上还原制备多晶硅。由于本发明将精炼提纯的三氯氢硅和二氯二氢硅按照特定比例混合进入还原炉，因此可获得快速的硅沉积速率，同时又不会发生均相成核现象。另外，本发明还显著提高了多晶硅的生产质量、大大降低了能耗和生产成本。
多晶生产方法系统

[发明专利]一种由二氯氢硅歧化反应制备甲硅烷和三氯氢硅的系统及方法-CN202211641257.6在审
发明人：李学刚;肖文德;阎建民;罗漫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C01B33/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种由二氯氢硅歧化反应制备甲硅烷和三氯氢硅的系统，该系统以二氯氢硅为原料，通过二氯氢硅歧化反应装置(200)，制备甲硅烷并联产三氯氢硅。该方法包括以下步骤：二氯氢硅歧化反应：将二氯氢硅送入二氯氢硅歧化反应装置(200)；粗甲硅烷精制：来自二氯氢硅歧化反应装置(200)的气态粗甲硅烷经冷却后送入粗甲硅烷精制装置(400)。与现有技术相比，本发明以二氯氢硅为原料，经过歧化反应制备甲硅烷和副产物三氯氢硅，其中副产物三氯氢硅在提纯后可直接用于改良西门子法沉积多晶硅，实现甲硅烷生产与多晶硅生产工艺结合程度高、综合能耗和物耗低。
一种二氯氢硅歧化反应制备硅烷三氯氢硅系统方法

[实用新型]多晶硅生产系统-CN201721384008.8有效
发明人：张金宝;方红承;方仕林;鲁瑞尧;隋宝勋;张龙善;张龙 -专利权人：新疆合晶能源科技有限公司
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产系统，包括三氯氢硅添加装置、氢气添加装置、静态混合器和还原炉，三氯氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，氢气添加装置的出口与静态混合器的入口连通，静态混合器的出口与还原炉的入口连通，还包括二氯二氢硅添加装置，二氯二氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，二氯二氢硅添加装置，包括二氯二氢硅储罐、二氯二氢硅输送泵和尾气换热器，二氯二氢硅储罐内的二氯二氢硅依次经二氯二氢硅输送泵和尾气换热器后进入静态混合器，所述还原炉产生的尾气流入尾气换热器，尾气换热器与静态混合器连接的管道上设置二氯二氢硅调节阀。以实现根据还原炉运行的时间提供合适比例二氯二氢硅的优点。
多晶生产系统

[发明专利]一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法及系统-CN202210702339.0在审
发明人：彭中;李寿琴;杨强;杜炳胜;汪云清;杨成;刘阳;王世棋 -专利权人：云南通威高纯晶硅有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，属于多晶硅生产技术领域，包括以下步骤：将合成的高纯度三氯氢硅与回收三氯氢硅送入分离塔中进行混合，通过对分离塔进行加热，汽化氯硅烷，再通过冷凝器冷凝二氯二氢硅至液态，采出部分二氯二氢硅，余下部分二氯二氢硅送回至分离塔作为回流液，获取分离塔塔釜中的压力值和温度值，通过DCS系统判断分离塔中二氯二氢硅的含量与分离塔压力值、温度值的关系，确定二氯二氢硅的采出量，同时公开了匹配该方案的系统，有效解决现有技术生产多晶硅的还原工段中，输入原料精制三氯氢硅过程中，三氯氢硅与二氯二氢硅的比例存在较大波动，导致产品质量不稳定的问题。
一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量方法系统

[发明专利]二氯二氢硅气相氯化方法-CN201210562579.1有效
发明人：沈俊;赵燕 -专利权人：宁夏胜蓝化工环保科技有限公司
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：一种将多晶硅副产二氯二氢硅在气相进行氯化的方法，利用氢气与氯气稳定燃烧的火焰为起始反应空间，将二氯二氢硅通入到氢气流中或直接通入到氢氯焰底部，同时按比例减少氢气的流量，在氢氯焰的引发下，二氯二氢硅与氯形成稳定地气相燃烧反应，二氯二氢硅被氯化为四氯化硅。对多晶硅工厂而言将二氯二氢硅转化为四氯化硅是实现二氯二氢硅资源化的最佳路径之一。
二氯二氢硅气相氯化方法

[发明专利]一种电子级二氯二氢硅的制备方法及设备-CN201810747794.6在审
发明人：王红星;陈锦溢;郑广强;华超;李飞;刘伯潭;盖晓龙 -专利权人：天津科技大学
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级二氯二氢硅的制备方法及设备。主要包括反应部分、二氯二氢硅的提纯、三氯氢硅的回收。应用本发明的技术方案，三氯氢硅原料经预热器预热后进入固定床反应器，在固定床反应器内歧化催化剂的催化作用下反应生成二氯二氢硅；反应产物进入分离塔，塔顶得到粗二氯二氢硅，粗二氯二氢硅分别经脱轻塔和脱重塔脱除其中的轻组分和重组分，得到电子级二氯二氢硅产品；分离塔塔底采出的含三氯氢硅的重组分进入三氯氢硅回收塔回收其中的三氯氢硅，回收所得的三氯氢硅返回至固定床反应器。
二氯二氢硅三氯氢硅电子级固定床反应器制备方法及设备分离塔回收工艺系统流程歧化催化剂产品品质催化作用回收塔脱轻塔脱重塔预热器提纯预热收率塔顶脱除返回应用

[发明专利]一种二氯二氢硅除杂方法-CN201210209360.3有效
发明人：万烨;严大洲;毋克力;肖荣辉;汤传斌 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2012-06-19 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种二氯二氢硅除杂方法，包括以下步骤：a)对待除杂的液态二氯二氢硅通过金属丝网填料进行粗提纯，得到气态二氯二氢硅和富含杂质的液态高沸物；和b)通过吸附剂吸附除去所述气态二氯二氢硅中的硼、磷、以及金属杂质，得到高纯二氯二氢硅。根据本发明实施例的二氯二氢硅除杂方法，首先通过粗提纯的方法将沸点较低的二氯二氢硅汽化分离出来，再通过吸附剂除去气态二氯二氢硅中的硼、磷、以及金属杂质，得到高纯二氯二氢硅，该方法操作简单，所用设备投资少，能耗低，且得到产物二氯二氢硅纯度较高，产品质量好，可以带来一定经济效益。
一种二氯二氢硅方法

[发明专利]一种二氯二氢硅除杂方法-CN201510984410.9在审
发明人：汪应军;张小玲;黄娣;赵东京 -专利权人：湖北晶星科技股份有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：一种二氯二氢硅除杂方法，由以下步骤组成：1）将多晶硅生产系统中的气态的二氯二氢硅通过二氯二氢硅冷凝器0～10℃脱盐水进行冷凝；2）将步骤1）得到的液态二氯二氢硅通过屏蔽泵送至膜分离器内；3）将经过膜分离器处理后的二氯二氢硅送至填料塔，对液态二氯二氢硅进行初提纯，得到气态二氯二氢硅和富含杂质的液态高沸物；4）通过吸附剂吸附除去步骤3）得到的气态二氯二氢硅中的硼、磷、以及金属杂质，将塔中采出的高纯二氯二氢硅经过精密过滤器过滤后进入产品槽该工艺流程简单，一次投入费用低，二氯二氢硅的纯度能够达到99.999%以上，其中金属杂质≤10PPb，电阻率≥1000Ω·cm。
一种二氯二氢硅方法

[发明专利]制备三氯氢硅的方法及系统-CN202110500338.3有效
发明人：武珠峰;宋高杰;夏进京;刘兴平;吴昌勇;马金杉;潘从伟 -专利权人：内蒙古新特硅材料有限公司;新特能源股份有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备三氯氢硅的方法及系统，该方法包括以下步骤：将四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢通入反应精馏塔内，在催化剂的催化作用下，四氯化硅、二氯二氢硅发生反歧化反应，生成三氯氢硅，氯化氢抑制由二氯二氢硅为原料生成硅烷，再精馏，分离出三氯氢硅，在反应精馏塔的塔顶得到反应精馏塔塔顶排出物。通过改变反应精馏系统的平衡组成，向反应精馏塔内补入氯化氢，抑制由二氯二氢硅为原料生成硅烷，同时氯化氢与二氯二氢硅在催化剂的作用下反应生成三氯氢硅，提高了系统运行的安全平稳性，提高了三氯氢硅的产率，同时提高了二氯二氢硅的回收效率
制备三氯氢硅方法系统

[发明专利]一种采用回收法制取二氯二氢硅的制备方法-CN201210589185.5无效
发明人：李中元 -专利权人：天津市泰亨气体有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了采用回收法制取二氯二氢硅。所需设备主要有：精馏塔，吸附塔，储罐，制冷系统，充装台，真空机组，尾气吸收塔等。多晶硅是用三氯硅烷加氢还原制得的，在此过程中产生约1%的二氯二氢硅。未反应的三氯硅烷，通过逐级冷凝、精馏来回收，可得到高浓度二氯二氢硅。本工艺可同时回收二氯二氢硅和三氯氢硅，三氯氢硅也是一种重要的硅外延材料，在半导体工业中用量比二氯二氢硅大。
一种采用回收法制取二氯二氢硅制备方法

[发明专利]一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺-CN201210471193.X无效
发明人：李仕扬;沈伟 -专利权人：四川瑞能硅材料有限公司
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，尤其是一种多晶硅生产系统中的二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，属于硅化工技术领域；本发明的二氯二氢硅反歧化工艺采用液态二氯二氢硅和液态四氯化硅混合进料，反应采用的是装载催化剂的固定床反应器，反应条件温和，设备投资低，耗能少，能够对多晶硅生产系统的副产物二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅，降低生产成本和二氯二氢硅的处理费用；本工艺还设计有气液分离单元和精馏原料产品分离系统，能够充分利用生产系统现有工艺设备，提高多晶硅生产系统的原料利用率。
一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺

[发明专利]生产多晶硅的方法-CN200710121059.6有效
发明人：沈祖祥;严大洲;汤传斌;肖荣晖;毋克力 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2007-08-29 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：一种生产多晶硅的方法，用工业硅和氯化氢反应生成三氯氢硅；将三氯氢硅经提纯后与氢气反应生成多晶硅；收集主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的尾气：加压和冷却尾气，气液分离氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，分离氢气与氯化氢和二氯二氢硅；通过升温和/或加压将氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中解吸出来；通过控制压力和/或温度分离氯化氢与二氯二氢硅；和通过温度和压力通过气液分离将三氯氢硅与四氯化硅分离
生产多晶方法

[发明专利]利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅方法及设备-CN201010514102.7有效
发明人：黄国强;王国锋;王红星;华超 -专利权人：天津大学
申请日： 2010-10-21 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅方法及设备。二氯二氢硅与四氯化硅在反应精馏塔中上部反应，反应精馏塔塔顶得到未完全反应的二氯二氢硅，于塔顶和塔中部回流，塔底得到二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合物，进入脱轻塔脱除轻组分，脱轻塔塔顶得到二氯二氢硅回流至反应精馏塔循环利用，塔底得到三氯氢硅和四氯化硅的混合物，进入脱重塔将二者分离，脱重塔塔顶三氯氢硅为产品，塔下部侧线采出四氯化硅进入反应精馏塔循环利用，塔底得到过量四氯化硅。本发明利用反歧化反应，提高原料利用率，同时解决了二氯二氢硅和四氯化硅富集的问题。使二氯二氢硅最终转化率理论上达到100％。
利用反歧化反应通过精馏制备三氯氢硅方法设备

[发明专利]从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法-CN200710119743.0有效
发明人：沈祖祥;严大洲;汤传斌;肖荣晖;毋克力 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2007-07-31 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：低温淋洗所述尾气，加压和冷却进行气液分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便使气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，并将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离；通过升温，将溶解于液态吸收剂中的氯化氢和二氯二氢硅解吸出来；被解吸出来的气态氯化氢和二氯二氢硅再通过控制压力和/或控制温度，进行气液分离，使得氯化氢为气态，二氯二氢硅为液态，由此回收二氯二氢硅。本发明采用干法处理将尾气中的二氯二氢硅回收，并可再用于多晶硅生产中，原料得以充分的利用，减少了污染物，解决了环境污染问题，提高了产品质量，降低了成本。
生产多晶产生尾气回收二氯二氢硅方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条