[发明专利]提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法无效
| 申请号： | 201210264544.X | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102749346A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 高林;王炯翀;陈强;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N1/28;G01N1/36 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品被随机地吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下并放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上；从而避免了样品由于被吸附到第一玻璃针的非针尖位置而导致的样品提取失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 提取 聚焦 离子束 制备 透射 样品 成功率 方法 | ||
【主权项】：
一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，包括如下步骤：将第一玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与第一玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到第一玻璃针上；当样品吸附到第一玻璃针的针尖位置时，通过玻璃针将样品放置至样品载体上；其特征在于，当样品被吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下放至特定金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上。
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