[发明专利]一种柔性衬底硅化铁(βFeSi2)薄膜太阳电池及其制备方法

摘要

一种柔性衬底硅化铁(β-FeSi2)薄膜太阳电池及其制备方法，涉及多晶β-FeSi2薄膜太阳电池器件结构设计和薄膜半导体材料制备方法。本发明的特点是以柔性金属箔为衬底材料[1]，底电极为金属钼(Mo)膜[2]，以N型多晶薄膜β-FeSi2[4]、弱N型多晶薄膜β-FeSi2[5]和P型多晶薄膜β-FeSi2[6]形成n-p结，透明导电层为氧化锌铝(ZnO:Al)[7]，其特征为：太阳电池pn结都由β-FeSi2多晶薄膜材料组成。柔性衬底硅化铁薄膜太阳电池其制备方法，包括在衬底[1]上顺序制备底电极[2]、过渡层[3]、N型薄膜层[4]、弱N型薄膜层[5]、P型薄膜层[6]、透明导电层[7]和上电极金属膜[8]材料，其特点是：电池各层材料都可在真空环境下采用磁控溅射沉积获得。本发明的太阳电池结构简单，电池具有轻质、可卷曲和高性价比等优点，电池原材料成本廉价，制备方法简单、无污染，易于采用卷对卷连续化方式进行大面积电池产品的规模化生产，电池应用领域广。

主权项

柔性衬底硅化铁薄膜太阳电池，依次由衬底[1]、底电极[2]、过渡层[3]、N型薄膜层[4]、弱N型薄膜层[5]、P型薄膜层[6]、透明导电层[7]和上电极金属膜[8]材料组成，其特征在于：所述的衬底[1]为柔性金属箔材料。