[发明专利]掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件有效
| 申请号： | 201210263043.X | 申请日： | 2005-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102851638A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 金义圭;金泰亨 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 郭鸿禧 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模组件，其被构造成防止掩模热变形并保持多个分开的图案掩模之间的间隙。根据一个实施例，该掩模组件包括：开口掩模，其具有在行或列上排列的多个第一开口；图案掩模，其包括多个单位图案掩模。在一些实施例中，可相对于开口掩模固定单位图案掩模的端部，该单位图案掩模包括被构造成与开口掩模的多个第一开口对齐的多个掩模图案单元。在一些实施例中，拉力被施加到单位图案掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 以及 使用 掩模框 组件 | ||
【主权项】：
一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，所述掩模组件包括：开口掩模，包括在行或列上排列的多个第一开口，所述行形成在第一方向上，所述列形成在第二方向上；图案掩模，包括多个单位图案掩模；其中，在所述第一方向上通过将各单位图案掩模的两端固定到所述开口掩模，而使拉力施加到各单位图案掩模，其中，所述单位图案掩模延长并附于所述开口掩模，使得所述延长的边取向为所述第一方向，其中，各单位图案掩模包括与所述第一开口的单个行或列对应的多个掩模图案单元，其中，各掩模图案单元包括多个槽，所述多个槽沿所述第二方向延长且局部延伸并沿着所述第一方向排列。
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