[发明专利]钨靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201210259861.2 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103567443A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;B22F3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钨靶材的制作方法，包括：提供钨粉末；采用热压工艺将钨粉末烧结成型，形成钨靶材坯料；完成烧结成型后，采用热等静压工艺将钨靶材坯料进行致密化处理形成钨靶材。采用本发明提供的钨靶材的制作方法，能够制作出99.4％以上的全致密度的钨靶材，而且，钨靶材的内部组织结构的均匀性和晶粒尺寸满足要求越来越高的溅射工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 钨靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
一种钨靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供钨粉末；采用热压工艺将钨粉末烧结成型，形成钨靶材坯料；完成烧结成型后，采用热等静压工艺将钨靶材坯料进行致密化处理形成钨靶材。
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