[发明专利]一种光辅助LED湿法粗化设备有效
| 申请号： | 201210240470.6 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN103545403A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 左致远;夏伟;陈康;苏建 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 吕利敏 |
| 地址： | 250101 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光辅助LED湿法粗化设备，属于发光二极管制造设备技术领域。包括密封箱体、腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇、恒温加热装置以及定时器。腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇以及恒温加热装置安装在密封箱体的内部，恒温加热装置安装在密封箱体的底部，腐蚀溶液槽安装在恒温加热装置的上方，光源模块与通风排气扇安装在箱体的顶部，定时器安装在密封箱体的外部。本发明可以有效粗化Ga面GaN以及GaP等难以粗化的半导体材料,显著缩短LED芯片粗化加工的时间，提高生产效率，并且使得LED 芯片的粗化制程高度可控，显著提高LED芯片的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 led 湿法 设备 | ||
【主权项】：
一种光辅助LED湿法粗化设备，其特征在于，包括腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇、恒温加热装置以及定时器，腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇以及恒温加热装置安装在密封箱体的内部，恒温加热装置安装在密封箱体的底部，腐蚀溶液槽安装在恒温加热装置的上方，光源模块与通风排气扇安装在箱体的顶部，在密封箱体的箱壁上设置有前面板和观察窗口，定时器安装在密封箱体的前面板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东华光光电子有限公司，未经山东华光光电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210240470.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有立体火焰效果的多功能电壁炉
- 下一篇：一种新型装沙漏斗
